В случай на полупроводникова литография (наричана още фотолитография) нашите камъни са силикон вафли и нашите модели са написани със светлочувствителен полимер, наречен фоторезист.
Какво имаш предвид под фотолитография?
Фотолитография, наричана още оптична литография или UV литография, е процес, използван в микропроизводството за моделиране на части върху тънък филм или по-голямата част от субстрат (наричан още вафла). … Този метод може да създаде изключително малки модели, до няколко десетки нанометра по размер.
Защо литографията се използва в производството на полупроводници?
Фотолитографията е процес, използван в микропроизводството за прехвърляне на геометрични модели върху филм или субстрат. Геометричните форми и шарки върху полупроводник съставляват сложните структури, които позволяват на добавките, електрическите свойства и проводниците да завършат верига и да изпълнят технологична цел.
Каква е целта на фотолитографията?
Фотолитографията е един от най-важните и най-лесни методи за микропроизводство и се използва за създаване на подробни модели в материал. При този метод форма или модел могат да бъдат гравирани чрез селективно излагане на светлочувствителен полимер на ултравиолетова светлина.
Какво е оборудване за полупроводникова литография?
Оборудването за полупроводникова литография се използва във фазата на експозиция на полупроводниковия чиппроизводствен процес. … Оборудването за полупроводникова литография използва прожекционна леща, за да намали схемата на веригата, която е написана върху оригинална плоча, наречена мерник, и изложи шаблона върху пластина.
