Фотолитографията обикновено се използва за производство на компютърни чипове. Когато се произвеждат компютърни чипове, субстратният материал е покрита с резистен пластина от силиций. Този процес позволява стотици чипове да бъдат изградени едновременно върху една силиконова пластина.
Как се прави фотолитография?
Фотолитографията използва три основни стъпки на процеса за прехвърляне на шаблон от маска към вафла: coat, develop, expose. Моделът се прехвърля в повърхностния слой на вафлата по време на последващ процес. В някои случаи моделът на резистентност може да се използва и за дефиниране на модела за депозиран тънък филм.
Защо се нарича фотолитография?
Полупроводникова литография (фотолитография) - Основният процес . Производството на интегрална схема (IC) изисква различни физични и химични процеси, извършвани върху полупроводникова (например силициева) подложка. … Думата литография идва от гръцкото lithos, което означава камъни, и graphia, което означава да пиша.
Защо литографията е важна?
Литографията е процесът на пренасяне на модели от геометрични форми в маска върху тънък слой чувствителен на радиация материал (наречен резист), покриващ повърхността на полупроводникова пластина. Фигура 5.1 илюстрира схематично литографския процес, използван при производството на IC.
Кой е най-широко използвания метод в литографските методи?
Оптиченлитография е фотонно базирана техника, състояща се от прожектиране на изображение във фоточувствителна емулсия (фоторезист), покрита върху субстрат като силициева пластина. Това е най-широко използваният литографски процес в производството на наноелектроника с голям обем от полупроводниковата индустрия.
