Фотолитографията е процес, използван в микропроизводството за прехвърляне на геометрични модели върху филм или субстрат. Геометричните форми и шарки върху полупроводник съставляват сложните структури, които позволяват на добавките, електрическите свойства и проводниците да завършат верига и да изпълнят технологична цел.
Какво представлява процесът на фотолитография?
Фотолитографията, наричана още оптична литография или UV литография, е процес, използван в микропроизводството за моделиране на части върху тънък филм или по-голямата част от субстрат (наричан още вафла). … В сложни интегрални схеми, CMOS пластина може да премине през фотолитографския цикъл до 50 пъти.
Какви са процесите на микропроизводство?
Микропроизводството е процесът на изработване на миниатюрни структури с микрометрови скали и по-малки. … Основните концепции и принципи на микропроизводството са микролитография, легиране, тънки филми, ецване, свързване и полиране.
Какво представлява процесът на литография в полупроводниците?
Полупроводникова литографска система предприема процес, при който много сложни схеми, начертани върху фотомаска, изработена от голяма стъклена плоча, се редуцират с помощта на ултра-високоефективни лещи и се излагат върху силициев субстрат, известен като вафла. …
Какво е литография в процеса на производство?
Литографията епроцесът на прехвърляне на модели от геометрични форми в маска към тънък слой чувствителен на радиация материал (наречен резист), покриващ повърхността на полупроводникова пластина. Фигура 5.1 илюстрира схематично литографския процес, използван при производството на IC.
