При небалансирано магнетронно разпръскване, плазмата също се изтегля нагоре в субстрата, а аргоновите йони също бомбардират нарастващия тънък филм. … Наличието на електрони около субстрата води до йонизация на неутрални газови атоми и проникване на плазма в тази област.
Защо магнетронът разпръсква?
Магнетронното разпрашване използва затворено магнитно поле за улавяне на електрони, повишавайки ефективността на първоначалния процес на йонизация и създавайки плазмата при по-ниски налягания, намалявайки както фоновото включване на газ в нарастващия филм и загуби на енергия в разпръснатия атом чрез сблъсъци на газ.
Какво може да се приложи за магнетронно разпрашване?
5 Отлагане с магнетронно разпрашване. Магнетронното разпръскване е високоскоростна техника за вакуумно покритие, която позволява отлагането на много видове материали, включително метали и керамика, върху толкова видове субстратни материали чрез използването на специално образуван магнитен поле, приложено към мишена за диодно разпръскване.
Какво е небалансирано магнетронно разпръскване в затворено поле?
Системата за йонно покритие с небалансирано магнетронно разпръскване в затворено поле, разработена от Teer Coatings Ltd, произвежда оптимизирани условия на отлагане, позволяващи нанасяне на плътни, твърди покрития с отлична адхезия. Споразумението CFUBMSIP е покрито от патенти, предоставени на Teer Coatings Ltd.
Какво е небалансиран магнетрон?
Магнетроните обикновено се класифицират като "балансирани" или "небалансирани". … Ако нулевата точка е близо до целевата повърхност, електроните могат да избягат по-лесно и магнетронът е небалансиран. Небалансираните конструкции могат да предизвикат високо йонно бомбардиране на тънкия филм едновременно с отлагането.
